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日本SSD 光照射除電裝置 ISX-224


日本SSD 光照射除電裝置 ISX-224
日本SSD 光照射除電裝置 ISX-224
日本SSD 光照射除電裝置 ISX-224
日本SSD 光照射除電裝置 ISX-224

杉本(日本)青島分社

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供應 SSD 光照射除電裝置 ISX-224光照射除電裝置 ISX-224ISX-224

產品特點:

· 對于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,1S以內的短時間內除電。

· 與瓦斯的流動狀態無關,可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不穩定的氣流,也不影響除電性能。

· 平常完全不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。

· 由于正負離子及電子平均分布于空間內,因此除電對象物的殘留電位可定為0V

· 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下, N2Ar等不活性瓦斯中也可除電。

· 由于是光照射之離子系統,因此,完全不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。

· 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產生臭氧(ozone)

· 構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2,在制造裝置.搬運上易安裝。

產品規格:

型號

ISXH-224

除電方式

X射線照射方式

尺寸

38×75×100mmW×H×D

光源

X線管

消費電力

100VA

冷卻方式

自然空冷卻式

材質

機體:鋁鋼板/磨砂    放射口:

質量

0.4kg

產品用途:

l   電子設備的制造、組裝工程。

l   照相機、鐘表、精密機械零件的制造、組裝工程。

l   食品、化妝品容器等的加工、填充工程。

l   紙張、薄膜(film)、薄板(sheet)類的卷、裁切工程。

l   成型機內的除電。

l   防止附著于Parts feeder等振動制品。

l   防止軟片.感光材料之static mark

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